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    提前半年?ASML新一代光刻机预计明年年中出货,榴莲视频APP色版榴莲视频污视频机

    返回列表 来源:榴莲视频APP色版 浏览: 发布日期:2020-10-15 10:46【
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           据了解,荷兰ASML在其三季度的财报中指出,其新款光刻机预计将在2021年年中开始出货的,新款光刻机的生产效率约将有18%的提升,在30mJ/cm2的曝光速度下每小时可处理的晶圆数可达160片。如果这款光刻机与ASML之前2019年的年报中提及的新光刻机为同一款的话,那么ASML的新款光刻机的出货时间,就较原计划提前约半年。
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           ASML的极紫外光刻机对先进芯片制程工艺的重要性就不用多说了,台积电和三星这两的7nm和5nm工艺,都必须依靠ASML的EUV光刻机,预计新款EUV光刻机出货后,也将由台积电和三星先开始使用。
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           此外,ASML目前的两款EUV光刻机,都是采用的波长为13.5nm的极紫外光源,在20mJ/cm2的曝光速度下,其每小时的晶圆处理量分别能达125片和170片。

    本文来源:TechWeb、网易科技
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